化学放大胶是一种为了提高光刻胶的量子效率（量子效率，描述光刻胶对光子的敏感程度），基于化学放大原理的光刻胶，其主要成分是聚合物树脂、光致产酸剂（photo acid generator，PAG）以及相应的添加剂和溶剂。

所有化学放大胶的基本工作原理可用图1描述。光子被光致产酸剂吸收，PAG分解释放酸（H+）；烘烤时，酸与树脂上的不溶性悬挂基团反应，使聚合物能溶于显影液，并释放一个新的H+。

图1 化学放大胶的一般工作原理(INSOL：不溶性基团； SOL：可溶性基团)

之所以称为“化学放大胶”，是因为一个光致产酸剂分子分解后产生的酸分子，能够引发一系列化学反应，这些化学反应又能增强光刻胶曝光前后溶解能力的差异。

光刻胶是目前国家正在大力攻克的技术难题之一，因为我们在这一方面被“卡脖子”卡得太久。而如果要制备光刻胶的话，其中核心材料光引发剂的选择可就要非常有讲究了~

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