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广传光引发剂 | 光刻胶基于感光树脂的化学结构可分为哪些类型?
发布时间:2021-06-18

光刻胶的技术复杂,品种较多。根据其化学反应机理和显影原理,光刻胶可分负性胶和正性胶两类。基于感光树脂的化学结构,光刻胶可以分为光聚合型、光分解型、光交联型三种类型。采用烯类单体,在光作用下生成自由基,自由基再进一步引发单体聚合,最后生成聚合物,具有形成正像的特点的为光聚合型。采用含有叠氮醌类化合物的材料,经光照后,会发生光分解反应,由油溶性变为水溶性,可以制成正性胶的为光分解型。采用聚乙烯醇月桂酸酯等作为光敏材料,在光的作用下,其分子中的双键被打开,并使链与链之间发生交联,形成一种不溶性的网状结构,而起到抗蚀作用,这是一种典型的负性光刻胶的称为光交联型。


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